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还原沉积用的石墨电极称为石墨夹头，硅料沉积到硅芯上的同时，在石墨夹头上也沉积了硅料，硅料与石墨夹头表面结合紧密，造成硅料与石墨分离困难，这种生长石墨夹头附近的硅料或者表面含有石墨的硅料称为碳头料。
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